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• 采用了獨特的測定方式，實現了高速化與輕便化。
• UNECS-1500A/2000A/3000A通過自動R-θStage和自動對焦機能來快速自動測定基板內的膜厚分布，將結果表示在ColorMap上。
• 高速測定： 采用了獨特的抓拍方式，實現了最快20ms的高速測定
• 可視分光應對： 波長范圍可以在標準型（530nm-750nm）與可視分光型（380nm-760nm)之間進行選擇
• 輕便的Sensor Unit： 投受光Sensor沒有回轉機構，單由光學粒子非常輕便，也不需要定期的維護
• 豐富的產品類型： 以獨特的ProtableType設計為出發點，衍生出了Manual/Auto-StageType、大型基板Type與對應大氣/真空環境的Build-In Type等，我們準備了各式各樣的產品來對應各種不同的用途。
• 用于透明或半透明薄膜（酸化膜、窒化膜、Resist、ITO等）的膜厚、折射率、衰減系數的測定。
