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• 采用ULVAC原產的高效率多電壓電機
用一臺電機即可對應200~240V/380~460V的大范圍電壓。
• 采用強制給油方式
即使在大氣壓附近排氣速度也很安定。適用于大氣壓⇔真空反復連續運轉。
• 蒸發設備、濺射設備、離子鍍設備
• 分析儀器、檢漏設備
• 氣體置換、液體注入