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• 油擴(kuò)散氣動(dòng)式泵ULK系列
  

  ULVAC的ULK型油擴(kuò)散泵，根據(jù)長(zhǎng)年的研究、豐富的制造經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行設(shè)計(jì)生產(chǎn)。是一種較大臨界背壓設(shè)計(jì)的小型高真空排氣泵。

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  若想了解更多請(qǐng)致電182-2185-4021

  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • • 臨界背壓較大設(shè)計(jì)。

    •?10^-2 Pa (10^-4 torr)時(shí)，性能非常的穩(wěn)定。
    •采用活動(dòng)法蘭的方式。(ULK-04A、06A的排氣口法蘭除去)
    •泵的清洗很容易。(部件的拆解很簡(jiǎn)單)
    •為輔助泵側(cè)備有動(dòng)作液流出的防止機(jī)構(gòu)。
  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters
• 產(chǎn)品系列

  • 設(shè)備(按類型分)
    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
  • 設(shè)備(按用途分)
    FPD&PV設(shè)備 半導(dǎo)體設(shè)備 電子設(shè)備 產(chǎn)業(yè)機(jī)器
  • 真空標(biāo)準(zhǔn)部件
    真空泵 真空閥 氣體分析計(jì) 超高真空部件 微量精密攪拌機(jī) 薄膜計(jì)測(cè) 分子間相互作用解析裝置 光學(xué)工藝模擬器 軟件 真空搬運(yùn)機(jī)械手 檢漏儀 真空計(jì) 電源
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