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• 控制器一體型渦輪分子泵UTM-MI系列
  

  采用磁氣軸受的控制器一體型渦輪分子泵。由于泵本體和控制器一體化，可以實現省配線、省空間。

  購買咨詢

  若想了解更多請致電182-2185-4021

  • 產品特性 / Product characteristics

  • • 泵自身和控制器一體

            不需要進行泵本身和控制器間的復雜配線作業

    • 安裝方向自由

            因為安裝方向沒有限制，設備設計的自由度很高。

    • 排氣速度1000L/s～4000L/s級別Line-up。
    • 面向輕量級工藝的大范圍大流量設計
    • 泵的旋轉數在25～100%的范圍可變
            由于旋轉數可變可調整腔體壓力。
     • 高耐久性和安全性
            大氣突入測試、觸地測試等各種安全性測試全部通過。
  • 產品應用 / Product application

  • • 各種設備的真空排氣系統

            半導體制造設備

            蒸發設備

            濺射設備

            分析設備

           實驗設備等

           研究開發設備

    • 無副產品產生的輕量級工藝的主排氣系統
    • 自油擴散泵搭載裝置的置換
    • 其他，各種高真空排氣用途
  • 產品參數 / Product parameters
• 產品系列

  • 設備(按類型分)
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