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• 濺射離子泵PST-030CU/AU
  

  濺射離子泵是在超高真空具有代表性的泵的一種。在很多分析儀器、加速器中使用。ULVAC開發了極·超高真空領域強化排氣性能的新型元件（Actor元件），配合適化的磁場，開發了『Actor Pump』。

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  若想了解更多請致電182-2185-4021

  • 產品特性 / Product characteristics

  •  •極·超高真空對應。使用ISO規格的Test Doom實證可達到10-9Pa真空度。

    •稀有氣體排氣強化型（AU型）實現了對Ar的2倍排氣性能。（本公司比）
    •在超高真空領域實現了較大的排氣速度。
    •可在短時間內排氣達到超高真空領域。
    •在超高真空領域優秀的啟動特性。（到超高真空領域為止持續放電）
     
  • 產品應用 / Product application

  • •     加速器

    •     電子顯微鏡
    •     分析儀器
     
  • 產品參數 / Product parameters

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