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產(chǎn)品中心 · product center
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產(chǎn)品中心
鈦升華泵GGT&PGT系列
鈦升華泵(GGT-3、PGT系列),鈦合金在真空中直接通電使得鈦升華的單元。升華的鈦在周圍壁面制造大量活性金屬表面,吸附化學性能活潑的氣體(H2、N2、O2、H2O、CO、CO2)進行排氣。鈦的活性金屬表面不具備對非活性氣體(He、Ne、Ar、CH4、C2H6、其他有機氣體)的吸附能力,所以要和渦輪分子泵、濺射離子泵等配合使用。
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產(chǎn)品特性 / Product characteristics
•
通過選擇適合系統(tǒng)設計的Ti吸附面積,可獲得很大的排氣速度,提高到達壓力性能。
•
T連接法蘭部是刀口型金屬密封(UFC),最高可達250℃Back-out。
•
構成材料全部進行了適合超高真空的表面處理。
產(chǎn)品應用 / Product application
•
超高真空的排氣系統(tǒng)
•
各種成膜設備(蒸發(fā)?濺射等)中,作為提高高真空泵的到大壓力的輔助泵。
•
各種實驗、研究用設備中,
作為提高高真空泵的到大壓力的輔助泵。
產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters
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