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• G-TRAN系列 冷陰極真空計SC1
  

  這是G-TRAN系列的逆磁控管型冷陰極真空計。由于不使用燈絲，可以不用擔心燈絲的損耗、損壞問題。此外，采用了易于修理的結構，使用成本非常低。

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  若想了解更多請致電182-2185-4021

  • 產品特性 / Product characteristics

  •  • 轉換器規格：不要壓力顯示器的情況下，可實現

            在真空計顯示部件上降低成本
            控制盤周圍聲空間
            省配線
    • 對用戶而言，測定子的構造簡單可維修
    • 由于沒有使用燈絲，可再次利用
    • 控制輸出信號：可設定2點輸出
    • 測定值輸出信號：壓力輸出為0?10V（非線性輸出）
    • 電源電壓：DC24V
     
  • 產品應用 / Product application

  • • 用于半導體·電子部件等各種制造設備的工藝控制

    • 用于爐子等各種產業設備
    • 用于in-Line式·枚葉式等多工藝腔體的工藝控制
     
  • 產品參數 / Product parameters
• 產品系列

  • 設備(按類型分)
    蒸發設備 退火設備 蒸餾設備 氦檢漏設備 凍結干燥設備 卷繞設備 真空爐 CVD設備 離子注入設備 去膠設備 濺射設備 刻蝕設備 其他
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