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真空計G-TRAN系列 復合離子計ST2-1/ST2-2
高真空測定中,面對真空計的精度(敏感度的參差不齊、誤差等)、短壽命(測定子的污染、難放電等)等困擾,ULVAC針對這些困擾開發且商品化了嚴苛環境下長壽命、高精度測定的電離真空計。這個世界首創的三極管型金屬電離真空計,可大幅控制使用成本、提高各種工藝的良率。
購買咨詢
若想了解更多請致電
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產品特性 / Product characteristics
• 世界首個三極管型金屬電離真空計(專利申請中)
對真空計而言嚴苛的環境下,由于三極管的優點也可實現最大限度的使用壽命
• 提高測定精度
實現測定精度±%、提高感度穩定性
• 金屬制小型測定子
無需擔心像玻璃型那樣子破損
• 寬范圍測定
可測定從大氣壓到高真空的范圍(10
+5
Pa~10
-5
Pa)(同時使用SPU?SAU時)
• 可連接不同測定范圍的測定子
采用復合離子計可根據用途選擇對應的測定子
• 準確的大氣壓測定
可容易測定大氣壓,且測量精確。(使用SAU時)
• 低環境負荷對應
由于可交換必要的對應測定子,可降低使用成本
• 燈絲壽命通知功能
通過燈絲的電力監視,可事先通知燈絲壽命
• 辨識性的提高
搭載一眼便可確認真空計狀態的LED
• 維修性
測定子的交換簡單
• 適合規格
CE標準對應
產品應用 / Product application
• 用于有機EL·觸摸屏等的制造設備的到大壓力的確認和真空爐等各種產業真空設備的工藝管理中達到壓力的確認
• 用于硬化碳(油系)較多的氛圍的測定
• 用于真空部件加工時的切削油、洗潔劑等殘存的氛圍的測定
• 用于以減少真空計測定子交換頻度為目的的真空設備
※在腐蝕性氣體(鹵素氣體)氛圍下使用時,請咨詢商討。
產品參數 / Product parameters
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