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• 真空搬運機械手 ELEC-RZ
  

  ELEC-RZ具有COVOT系列所擁有的優(yōu)異性能，可實現(xiàn)緊湊化、低成本的高真空搬送機械手。

  購買咨詢

  若想了解更多請致電182-2185-4021

  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • • 真空密封采用磁流體密封，可對應(yīng)到10-6Pa的高真空。

    • 應(yīng)用小型化的調(diào)節(jié)器實現(xiàn)緊湊化，容易搭載到設(shè)備上。

    • 通過行程、旋轉(zhuǎn)半徑、手臂數(shù)量等可以進(jìn)行多種手臂選擇。

    • 具有多功能的優(yōu)越操作性能、采用顯示器式示教懸掛。

     
  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application

  •  • 各種半導(dǎo)體用設(shè)備的晶圓搬送。

    • 各種真空實驗設(shè)備的基板搬送。
     
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters

  •  • 規(guī)格：

    *安裝的手臂根據(jù)不同手系不同。

• 產(chǎn)品系列

  • 設(shè)備(按類型分)
    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
  • 設(shè)備(按用途分)
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