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特征
1）由于電子束被電磁場偏轉，因此二次電子對沉積體的影響小。
2）即使是可升華的材料,也可以通過掃描x軸和Y軸上的光束點來順利蒸發,從而消除挖洞現象。(日本國專利 831485號 843447)
3）電子束是 270° 偏轉的,因此不會暴露在蒸發材料的蒸氣中,燈絲的使用壽命長。
4）發射器組件易于安裝和拆卸，便于更換燈絲、絕緣體等。
