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• 縱向式Cat-CVD設備CCV系列
  

  CCV Series是a-Si鍍膜用的縱向式CVD設備。有30年以上的量產實績。在各個chamber通過低壓鍍膜，得到高品質的膜質。

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  若想了解更多請致電182-2185-4021

  • 產品特性 / Product characteristics

  •  • 經驗和信賴性

            30年以上的經驗
            量產設備的實績和信賴性
    • 高品質的膜質
            低壓成膜
            各腔室隔離鍍各層
    • 低運行成本
            不使用NF3 
    • 高產能
            每個Carrier可搭載2片基板
     
  • 產品應用 / Product application

  •  ·         異質結太陽能電池

  • 產品參數 / Product parameters
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