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• Multi-chamber型濺射裝置SME-200系列
  

  SME-200系列是可搭載多個工藝腔體（最大搭載3室的200E，最大5室的200J，及最大搭載7室的200）的Multi-Chamber式濺射設備。

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  • 產品特性 / Product characteristics
  • • 可搬送φ200mm的基板
    • 工藝腔方面、擁有豐富多樣的模塊產品線：
            電介質用模塊 
            高溫成膜模塊
            高精密均一性模塊
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  • 產品應用 / Product application
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