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• 可對應低速高濃度的離子注入設備SOPHI-30
  

  低加速、高濃度對應的離子注入設備。

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  • 產品特性 / Product characteristics

  • • 枚葉式

    • 可對應薄片
    • 非質量分離機的對比優點
             1)對應低加速.高濃度的好產能離子注入設備
             2)相比過去約一半的低價
             3)相比過往設備占用面積為1/3的緊湊型設計
     

     

  • 產品應用 / Product application
  • • Power Device等薄片基板工藝、IGBT工藝
     
  • 產品參數 / Product parameters

  •  • 基板尺寸：Max200mm

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