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• 活性化退火設備PFS系列
  

  PFS系列是SiC工藝等高溫處理工藝中，配合使用的退火設備。可最大對應φ 150mm。
  

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  若想了解更多請致電182-2185-4021

  • 產品特性 / Product characteristics

  • • 最大可對應φ150mm基板

    • 最大可加熱2000℃

    • 高真空對應

    • 單批次25片一次性處理（也有5片處理機）

     

     

     

  • 產品應用 / Product application

  • • SiC功率器件用

    • 研究開發

    • 量產用

     

     

  • 產品參數 / Product parameters
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