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• 枚葉式PECVD設備CME-200E/400
  

  枚葉式PE-CVD設備CME-200E/400是適用于Si系絕緣膜、barrier膜等成膜的量產用PECVD設備。

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  若想了解更多請致電182-2185-4021

  • 產品特性 / Product characteristics
  • • 27.12MHz高密度等離子制程
    • SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可對應SiO2膜
    • 以NF3+Ar Plasma實現腔體清潔功能
    • 可對應有機EL（OLED）的低溫成膜用heater
    • 使用Tray最大可搬送□200mm(CME-200E)的基板尺寸(CME-400:可對應300×400)
     
  • 產品應用 / Product application
  • • 功率器件
    • LED、LD、高速device等化合物相關
    • 有機EL（OLED）開發
    • 太陽電池開發
    • MEMS
     
  • 產品參數 / Product parameters
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