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批次式EI系列
批次式高真空ei系列,是一種在基板上制作金屬或氧化膜的設(shè)備。
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刻蝕設(shè)備
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干法刻蝕設(shè)備
對應(yīng)LED量產(chǎn)專用的干法刻蝕設(shè)備?NE-950EX?相對我司以往設(shè)備實現(xiàn)了140%的生產(chǎn)力。
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濺射設(shè)備
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SMD 系列
SMD 系列是鍍金屬膜、ITO、IGZO、誘電體膜等的枚葉式濺射鍍膜設(shè)備。
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去膠設(shè)備
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NA-1500
從關(guān)鍵的新世代晶圓制程到晶圓級封裝,Luminous NA系列可對應(yīng)廣范圍的各類晶圓尺寸的各類工藝需求。
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離子注入設(shè)備
離子注入設(shè)備
高溫離子注入設(shè)備
搭載了高溫ESC(靜電吸附卡盤)的面向SiC量產(chǎn)用的高能粒子注入裝置。
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CVD設(shè)備
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CC-200
CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚葉式CVD設(shè)備。
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