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• 背面?封裝用濺射設(shè)備SRH系列
  

  背面.封裝用濺射設(shè)備SRH系列，是為對應(yīng)功率器件、WL-CSP、UBM等的金屬成膜為目的開發(fā)的量產(chǎn)用設(shè)備。

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  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics
  • • 可對應(yīng)φ125?φ200mm的基板
    • 可對應(yīng)超薄wafer（可對應(yīng)厚度50μm基板的自動搬送）
    • 最大對應(yīng)5工藝
    • 可搭載ISM方式的濺射刻蝕機(jī)能
    • 通過使用ESC可實(shí)現(xiàn)高效冷卻性能
     

     

  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
  • • 功率器件
    • WL-CSP(用于電解金屬種子層)
    • UBM(勢壘金屬)
     
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters
• 產(chǎn)品系列

  • 設(shè)備(按類型分)
    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
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    FPD&PV設(shè)備 半導(dǎo)體設(shè)備 電子設(shè)備 產(chǎn)業(yè)機(jī)器
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