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• 基板傳送采用全新的卷繞控制技術,可根據不同的材料和尺寸實現穩定運行。
• 根據蒸鍍的目的,可以選擇匹配的蒸發源(感應加熱方法,電阻加熱方法,EB加熱方法)。
• 各種預處理/后處理的機制達到良好的工藝條件。
• 可提供能夠在線測量的穿透式膜厚監視儀,渦流式膜厚監視儀,電阻值監視儀等。
• 包裝材料,透明氣體屏障,金銀線
• 電容器
• 磁帶
• 光學膜