產品中心 · product center
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- 產品特性 / Product characteristics
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• 枚葉式
• 可對應薄片Wafer
• 平行Beam
- 產品應用 / Product application
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• 功率器件相關薄片基板工藝、IGBT工藝
- 產品參數 / Product parameters
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• 基板尺寸：Max200mm
• 最大能量：2400 keV
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產品系列
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設備(按類型分)
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設備(按用途分)
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真空標準部件
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材料
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二手設備
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