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• 活性化退火設(shè)備PFS系列
  

  PFS系列是SiC工藝等高溫處理工藝中，配合使用的退火設(shè)備。可最大對(duì)應(yīng)φ 150mm。
  

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  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  • • 最大可對(duì)應(yīng)φ150mm基板

    • 最大可加熱2000℃

    • 高真空對(duì)應(yīng)

    • 單批次25片一次性處理（也有5片處理機(jī)）

     

     

     

  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application

  • • SiC功率器件用

    • 研究開發(fā)

    • 量產(chǎn)用

     

     

  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters
• 產(chǎn)品系列

  • 設(shè)備(按類型分)
    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
  • 設(shè)備(按用途分)
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