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  • HPS系列
    HPS系列

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    基于愛發科多年的技術積累和成果，該電源兼容電子束蒸發源，可穩定電路并提高性能。當與 EGC-10GS 電子束槍控制器結合使用時，它可用于光學薄膜電子束槍和金屬薄膜電子束槍。

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  • EGO系列
    EGO系列

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    這款高度可靠的 EB 噴槍基于 ULVAC 多年的技術，專為光學領域而開發。

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    EGN 系列

    EGN 系列是新開發的金屬氣相沉積電子束蒸發源，專注于提高可維護性。采用平頂結構，減少了與電子束蒸發源的粘附面積，實現了高可維護性。
    

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  • RFS-N 系列
    RFS-N 系列

    RFS-N 系列

    RFS-N 系列是 13.56MHz、0.5kW/1/kW/3kW/5kW 輸出射頻電源，用于等離子體處理。 配備高效射頻放大器，體積小、重量輕。
    此外，射頻電源具有內置的自動匹配控制器功能，因此可以只用主機來控制射頻電源和匹配系統的功率。

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  • SG-10系列
    SG-10系列

    SG-10系列

    它專為等離子體生成而設計，例如 LF 電源、雙陰極濺射、等離子體 CVD 等，并且可以連續輸出 20 kHz 至 100 kHz 頻率的額定功率，用于等離子體負載。 它是一種高度可靠的電源，通過在設計中體現我們多年積累的專業知識，包括電源的應用，非常適合等離子負載。

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  • DC PULSE 系列
    DC PULSE 系列

    DC PULSE 系列

    該電源在設定的周期內反轉輸出電壓，并抵消目標表面的電荷積累（充電），從而抑制異常放電并提高良率和吞吐量。

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