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    SMD 系列是鍍金屬膜、ITO、IGZO、誘電體膜等的枚葉式濺射鍍膜設備。僅SMD系列就有超過1000臺的豐富的采用實績，在各種各樣的生產環境下運轉。及時反映從生產現場聽取的意見，進一步提高設備的可靠性。

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    ULVAC面向有機EL材料開發提供實驗用設備系統到量產Cluster系統設備和Inline系統設備。

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    SPW系列設備，是可在塑料薄膜上進行光學膜、金屬膜等多層成膜的卷繞式設備。實施成膜室間的氣氛分隔，可以使高性能的多層膜一次性成膜。
    

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    CCV Series是a-Si鍍膜用的縱向式CVD設備。有30年以上的量產實績。在各個chamber通過低壓鍍膜，得到高品質的膜質。

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