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• Load-Lock式濺射設備
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    背面?封裝用濺射設備SRH系列

    SRH系列

    背面.封裝用濺射設備SRH系列，是為對應功率器件、WL-CSP、UBM等的金屬成膜為目的開發的量產用設備。

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  • 光學膜用濺射設備ULDiS 系列
    光學膜用濺射設備ULDiS 系列

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    光學膜用濺射設備ULDiS系列，是使用了進化后的meta-mode技術的數字濺射設備，可實現高品質的光學成膜。

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    CS-200系列

    Load-lock式濺射設備CS-200，是可對應從研究開發到小規模量產的濺射設備。

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  • Multi-chamber型濺射裝置SME-200系列
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    SME-200系列

    SME-200系列是可搭載多個工藝腔體（最大搭載3室的200E，最大5室的200J，及最大搭載7室的200）的multi-chamber式濺射設備。

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